本設備在普通的熱解噴涂的基礎上增加了多噴頭協(xié)調(diào)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，它配有三個高壓氣體驅(qū)動的霧化噴頭和配套的防滴落擋板，可以通過觸控屏協(xié)同工作，制作多層薄膜。真空系統(tǒng)能夠提供5000Pa的基礎真空度，可以在充入惰性氣體后進行保護氣體環(huán)境下的噴霧熱解。另外本儀器還有高精度蠕動泵以及精密程控的步進電機移動機構，同時基底溫度也可以進行控制，能夠滿足您的各種試驗需求。

熱解噴涂技術參數(shù)

項目	明細
供電電壓	AC220V，50Hz
噴涂室	690mm X 690mm X 790mm
霧化頭	高壓空氣霧化噴頭X 3 每個噴頭均配有高壓氣體驅(qū)動擋板，防止滴落
壓力調(diào)節(jié)器	可調(diào)節(jié)壓縮空氣進氣
*大功率	3.5KW （含壓縮機+蠕動泵約1.5KW）
液體粘度	1-50mPa·s（cP）
噴頭行程	X-Y軸 *大180mm
移動速度	0-250mm/s （x軸方向）  0-250mm/s（Y軸方向）
加熱襯底基板	200mm X 200mm
*高溫度	500℃
控溫方式	AI-PID 控溫
滴涂罐容量	50mL/250mL/50mL（配有一大二小三個罐子）
蠕動泵分液速率	0.006-41mL/min
真空泵	雙極旋片真空泵
真空計	機械式真空計
極限真空度	≤5000Pa
操控方式	工控電腦+儀器面板
整機尺寸	900mm X 900mm X 1750mm